碳化硅沉积炉

用途：

CVD气相沉积炉用于烧结碳碳及碳陶复合材料产品.

主要配置：

1.卧式炉体，双层炉体结构，水冷夹套设计。

2.炉膛内由发热元件，保温层，测温热电偶，监测热电偶组成

3.发热元件沿炉膛内壁均匀布置，有利于加热，温度均匀性好

4.PLC加触摸屏/工控机操作方式，有报警功能，自动化程序高,安全可靠

技术特征：

1.采用进的控制技术，能精确控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

2. 采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 

3. 采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

4. 对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；

5. 采用全新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。

 产品规格：