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化学气相沉积炉
化学气相沉积炉
基本信息
所属分类:
CVD气相沉积炉
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用途：可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理.
特点：
●采用先进的控制技术，能精密控制气体的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
●采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
●采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
●对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；
●采用防腐蚀真空机组设计，持续工作时间长，维修率低。
沉积炉主要配置
●炉门：丝杠升降//液压升降/；手动锁紧/自动锁圈锁紧
●炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
●炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡
●加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
●工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
●真空泵和真空计---进口/国产
●人机界面：触摸屏/工控机
●电器元件：正泰/施耐德/西门子
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参数\型号 |
JR-CJL-Φ30×50 |
JR-CJL-Φ60×80 |
JR-CJL-Φ80×120 |
JR-CJL-Φ100×150 |
JR-CJL-Φ110×200 |
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容积（L） |
35 |
226 |
602 |
1177 |
1899 |
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最高温度（℃） |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
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工作区尺寸D×H（mm） |
Φ300×500 |
Φ600×800 |
Φ800×1200 |
Φ1000×1500 |
Φ1100×2000 |
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控温方式 |
日本岛电温控仪 |
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加热方式 |
电阻加热 |
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真空系统 |
抗污泵或滑阀泵+罗茨泵 |
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烧结气氛 |
碳氢气体等 |
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额定电源电压(V) |
380 |
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额定加热电压(V) |
根据设计确定，配置炉前变压器 |
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真空极限度(Pa) |
6X10ˉ²（真空冷态） |
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碳化硅沉积炉